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佳能將于2023年上半年發(fā)售3D半導體光刻機
2022-04-01 13:31:45
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據(jù)報道，佳能正在開發(fā)用于半導體3D技術的光刻機。在尖端半導體領域，3D技術可以通過堆疊多個芯片來提高半導體的性能。佳能新的光刻機產(chǎn)品最早將于2023年上半年上市。曝光面積擴大至現(xiàn)有產(chǎn)品的約4倍，可支持AI使用的大型半導體生產(chǎn)。

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